齿轮泵在工作时，除与机械传动齿轮一样其齿面受到脉动接触应力和摩擦力作用，齿根受到脉动弯曲应力作用外，整体还受到弯曲应力作用。为保证泵的性能和使用寿命，齿轮必须具有高的强度和高耐磨性。因此，中、高压齿轮泵齿轮多采用低碳合金钢制造。
液压泵齿轮的制造工艺路线安排多是经滚齿、剃齿后进行热处理，热处理后齿面不再进行加工，这就要求在热处理过程中不能出现氧化、脱碳现象，因而采用炉内油淬的可控气氛炉。有时在滚齿后进行热处理，而后再进行珩齿，则允许在热处理后有微量氧化、脱碳层存在，在这种情况下，可采用井式炉进行渗碳，在油淬前的转移过程中有少量氧化脱碳。
为保证齿轮端面和轴颈的垂直度，磨加工应用角度磨床，这时齿轮端面易产生磨削裂纹造成废品。对此除在磨削工艺上采取措施外，在热处理工艺上也应采取措施，即严格控制表层碳含量和残留。
齿轮泵的零件的特点是体积小而精度要求高，在工作过程中承受复杂的公益条件。因此，在选材与热处理上应保证有高的强度，良好的韧性，高的耐磨性和尺寸稳定性。液压元件的零件热处理工艺有特点：广泛采用马氏体分级淬火，减小零件淬火畸变。应用稳定化处理和冷处理，以保持零件的尺寸稳定。